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快速退火爐
AS-One系統有兩種型號： AS-One 100 系統或AS-One 150 系統該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規模生產的需求而研制的，高可靠且性價比高。該工藝室采用貝殼式設計，可*進入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實際清潔腔體快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。
AS-One systems快速退火爐的詳細資料
AS-One系統有兩種型號： AS-One 100 系統或AS-One 150 系統
該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規模生產的需求而研制的，高可靠且性價比高。
該工藝室采用貝殼式設計，可*進入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實際清潔腔體
快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。
| 特征： | |
| 基本尺寸： | Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
| 工藝腔體 | 運用不銹鋼冷腔室壁技術 |
| 溫度范圍 | 標準配置：高達到1250°C 高溫配置：高達到1450°C |
| 溫度控制 | 標準配置：熱電偶和高溫計用來測量溫度 快速數字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制 |
| 真空和氣體 | 多可達5路帶MFC的工藝氣體，一路清潔氣體 |
| 電腦控制 | 全PC電腦控制，每個配方多100步驟 全數據記錄與處理歷史的人機界面設計 |
| 選項： | |
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統/其他套件
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| 應用 | |
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